Tower Lift 楼层提升系统
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Tower Lift 楼层提升系统
设备说明
针对在半导体工程中有层间或段差区域, 把FOUP上下运送的设备。
设备特点
双工位输送系统
高速输送
楼层间快速转接
设备参数
产品范围
FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
额定负载
Max20Kg
运行速度
Max250m/min
输送高度
Max40m
洁净环境
Class 100 - Class 1000
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